gammes de mesures allant de quelques dizaines de µm² à quelques mm², avec une résolution latérale de l'ordre de 200 nm et une résolution verticale allant du nanomètre à plusieurs dizaines de µm.
La profilométrie optique en mode confocal permet de réaliser des images de très faible profondeur de champ ou « sections optiques ». En positionnant le plan focal de l’objectif à différents niveaux de profondeur sous la surface de l’échantillon et en éliminant la lumière provenant des points hors focus, il est possible de réaliser des séries d’images à partir desquelles une représentation tridimensionnelle de l’objet est reconstruite.
Il est possible d'aller jusqu'à un objectif 100X, pour chacun de ces grossissements la PO3D fournit les paramètres de rugosité associés.