La profilométrie optique (microscopie confocale/interférométrie) est une méthode d'imagerie sans contact permettant d'observer et de caractériser la topographie des surfaces sur des gammes de mesures allant de quelques dizaines de µm² à quelques mm², avec une résolution latérale de 200 nm et des résolutions en profondeur du nm à plusieurs mm. Une analyse classique fournit des images 2D et 3D de la surface avec les dimensions des éléments observés, ainsi que de nombreuses statistiques de rugosité.
Plusieurs modes peuvent être utilisés afin d'accéder à différents degrés d'information. La microscopie confocale permet d’imager tous types d’échantillon (plats ou très rugueux, pentes allant jusqu’à 70 %). Sur des surfaces lisses, l’interférométrie permet d’atteindre des résolutions verticales nanométriques.
En VSI (Vertical Scanning Interferometry), un balayage vertical est effectué et l’enveloppe des franges est observée pour trouver le maximum de corrélation entre les ondes ou point de focalisation (échantillons de rugosité allant de 50 nm à 1 µm, hauteurs de marches supérieures à 120 nm).
- Vitesse d’écartement des mors ajustable de 0,8 mm/min à 25 mm/min.
- Capteur de force (plage de 0-500 N), précision de 0,1 N.
- Capteur de déplacement (plage de 50 mm), précision de 0,01 mm.