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Tescan
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TEM
FEI - Titan 80-300
Le
Microscope Electronique à Transmission
(TEM) permet l'observation de la structure et de la chimie des matériaux avec une résolution sub-nanométrique.
Echantillons analysés :
tous les matériaux compatibles avec l'UHV, épaisseur < 100 nm.
La préparation des échantillons peut être faite par FIB,
ultra microtomie
, ou déposition sur une grille TEM.
Analyse sous vide (pression comprise entre 10
-5
mbar et 10
-8
mbar selon la position dans la colonne)
Analyse de tout type d’échantillons solides compatibles avec l’ultravide
Source
: FEG Schottky
Tension d’accélération
: 80 kV à 300 kV
Résolution latérale ultime
: 0.1 nm (300 kV)
Grandissement maximum
: x 1.250.000
Détecteurs/filtre
: EDAX, Caméra CCD Gatan Ultrascan 1000, détecteurs axial (STEM-BF) et annulaire (STEM-DF), détecteur annulaire à grand angle (STEM-HAADF), filtre Gatan GIF
Epaisseur de l’échantillon
: < 150 nm
Résolution en EELS
: 0.25 eV
Résolution en EDX
: ‹ 130 eV sur Mn K