Tescan/Analyse de Surface / Equipements / TEM

FEI - Titan 80-300

Le Microscope Electronique à Transmission (TEM) permet l'observation de la structure et de la chimie des matériaux avec une résolution sub-nanométrique. 

Echantillons analysés : tous les matériaux compatibles avec l'UHV, épaisseur < 100 nm. 
La préparation des échantillons peut être faite par FIB, ultra microtomie, ou déposition sur une grille TEM. 
 
TEM_Titan.jpg
  • Analyse sous vide (pression comprise entre 10-5mbar et 10-8 mbar selon la position dans la colonne)
  • Analyse de tout type d’échantillons solides compatibles avec l’ultravide
  • Source : FEG Schottky
  • Tension d’accélération : 80 kV à 300 kV
  • Résolution latérale ultime : 0.1 nm (300 kV)
  • Grandissement maximum : x 1.250.000
  • Détecteurs/filtre : EDAX, Caméra CCD Gatan Ultrascan 1000, détecteurs axial (STEM-BF) et annulaire (STEM-DF), détecteur annulaire à grand angle (STEM-HAADF), filtre Gatan GIF
  • Epaisseur de l’échantillon : < 150 nm
  • Résolution en EELS : 0.25 eV
  • Résolution en EDX : ‹ 130 eV sur Mn K