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Profilomètre optique
SENSOFAR - PluNEOX
La Profilométrie Optique est utilisée pour obtenir des images topographiques en XYZ de la surface d'un échantillon (structure, les paramètres dimensionnels, rugosité).
Echantillons analysés :
tous types de matériaux solides
Aire analysée : 100x100 µm² to a few mm²
Résolution verticale (z) : 0.1 nm
Résolution latérale (XY) : 200 nm
Déplacement vertical maximal pendant la mesure : 5 µm
Mesures à l'air