SENSOFAR - PluNEOX

La Profilométrie Optique est utilisée pour obtenir des images topographiques en XYZ de la surface d'un échantillon (structure, les paramètres dimensionnels, rugosité). 

Echantillons analysés : tous types de matériaux solides

 
profilo_3D_neox.jpg
  • Aire analysée : 100x100 µm² to a few mm²
  • Résolution verticale (z) : 0.1 nm
  • Résolution latérale (XY) : 200 nm
  • Déplacement vertical maximal pendant la mesure : 5 µm
  • Mesures à l'air