FEI - Titan 80-300

Transmission Electron Microscope (TEM) allows the observation of structure and chemistry with nanometric resolution. 

Samples analyzed: UHV compliant materials with sample thickness < 100 nm
(preparation can be done with FIB, ultra microtomy, deposition on a TEM grid)
 
TEM_Titan.jpg
  • Under UHV
  • All TEM samples compliant with UHV
  • Source : FEG Schottky
  • Accelerating voltage : 80 kV à 300 kV
  • Ultimate resolution : 0.1 nm (300 kV)
  • Maximum magnification : x 1.250.000
  • Detectors / filters : EDAX, Caméra CCD Gatan Ultrascan 1000, détecteurs axial (STEM-BF) et annulaire (STEM-DF), détecteur annulaire à grand angle (STEM-HAADF), filtre Gatan GIF
  • Sample thickness : < 150 nm
  • EELS resolution : 0.25 eV
  • EDX resolution : ‹ 130 eV for Mn K